2025年10月15日 星期三

東京威力科創(Tokyo Electron)2025「塗布顯影設備(Coater/Developer)」,

 

東京威力科創(Tokyo Electron)15日在熊本縣舉行半導體製造設備新開發大樓的落成典禮,投資金額高達470億日圓。新棟樓地上四層、總樓地面積約2萬7千平方公尺,預定2026年春季啟用。該公司計畫在此開發可支援「1奈米」級晶片製程的關鍵設備,與主要客戶,包括台積電(TSMC)與索尼集團密切合作,強化在全球前段製程設備領域的領先地位,並助力人工智慧(AI)性能提升。
東京威力科創九州公司社長林伸一在記者會中表示,公司將「著眼於1奈米以後世代的設備開發」,熊本研發能量將提升至以往的四倍。新設施將導入空調與無塵室,打造仿先進晶圓廠環境,用於與客戶共同進行製程測試與新機種評估。
熊本廠主要開發與生產「塗布顯影設備(Coater/Developer)」,此為在曝光製程前後塗布感光材料(光阻劑)的關鍵設備,技術難度極高,目前幾乎處於市場壟斷地位。該設備以高速旋轉方式均勻塗布感光劑與顯影液,能顯著提升晶圓良率,是微縮製程不可或缺的核心技術。
現階段最先進晶片為台積電預計於2025年量產的2奈米製程,而1.4奈米預計於2028年啟動量產。1奈米級晶片有望於2030年後普及,能在單一晶片上容納更多電晶體,使生成式 AI 反應更快、自動駕駛精度更高。
當摩爾定律逐漸逼近物理極限,東京威力科創正與荷蘭 ASML 及比利時研究機構 imec 合作,挑戰製程微縮極限。公司除熊本外,也在海外主要晶圓廠附近設研發據點,與客戶同步開發未來10至15年、約四代以後的設備,以確保長期採用關係。
隨著製程微縮,化學藥劑使用量增加,公司將投入節能與節水技術,以降低製造成本與環境負荷。東京威力科創目前在成膜、塗布顯影、蝕刻與清洗等前段製程設備中,均名列全球市占前茅。不過,蝕刻裝置領域競爭激烈,公司計畫強化開發實力,以鞏固塗布顯影優勢並推動其他領域的回升。
雖然短期業績受全球半導體投資減緩與中國市場銷售疲弱影響,2026年3月期預估將出現減益,但公司仍維持長期樂觀看法,預計至2029年3月期的五年間,將投入逾1.5兆日圓研發資金,比過去五年增加九成。
然而,與最重要客戶台積電的合作關係出現陰影。台灣檢方於8月起訴數名前技術人員,指控他們非法使用台積電2奈米技術機密,其中包含曾任東京威力科創台灣分公司員工。若確認洩密,可能衍生賠償問題。公司表示此事件「對業績無重大影響」,但如何維持與台積電的信任關係已成當前緊迫課題。
參考資料:日經新聞


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